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产(chǎn)品描(miáo)述
产品特点:
• 料盒上下料方式,取(qǔ)料(liào),打标(biāo),放料回原位。
• 全自(zì)动上下料,视(shì)觉(jiào)或者自动寻边机构(gòu)定位(wèi),加(jiā)工效率高。
• 设备体积微小,使用方便。
• 自带自(zì)动检测(cè)料(liào)盒功能,自主计数 Mapping 功能,可双面打标。
• 晶圆机械(xiè)手完成设备内的晶圆片(piàn)运转;JEL/ 首镭自主机(jī)械手。
产品应用领域:
全自(zì)动晶圆(yuán)激(jī)光(guāng)标刻机主要(yào)是对各种(zhǒng)硅(guī)晶圆、蓝宝石玻璃晶圆、SiC 晶圆进行精密 ID 标记;适用于 4inch,6inc,8inc 晶圆(yuán)。
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